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F-P腔式光纤MEMS压力传感器的设计

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  • 大小：1.57 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
关键词：光纤   设计   压力传感器   MEMS
资源简介
  • F-P腔式光纤MEMS压力传感器的设计,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:光纤,设计,压力传感器,MEMS
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