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PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究

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  • 大小:1.94 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:坩埚   杂质   沉积   工艺   烧结
资源简介
  • PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:坩埚,杂质,沉积,工艺,烧结