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基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作

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  • 大小:2.37 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:阳极   陀螺   基于   制作   设计
资源简介
  • 基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:阳极,陀螺,基于,制作,设计