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Ti掩膜图形层对外延生长GaN薄膜晶体质量的影响

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:薄膜   图形   晶体   生长   质量
资源简介
  • Ti掩膜图形层对外延生长GaN薄膜晶体质量的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,图形,晶体,生长,质量