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左右分布式高灵敏硅微谐振加速度计结构设计

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
资源简介
  • 左右分布式高灵敏硅微谐振加速度计结构设计,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:灵敏,加速度计,谐振,分布式,结构设计