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氧化后退火技术对SiO2∕4H-SiC界面态密度的影响

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  • 大小：2 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
关键词：界面   氧化   密度   退火   技术
资源简介
  • 氧化后退火技术对SiO2∕4H-SiC界面态密度的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:界面,氧化,密度,退火,技术
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