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氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响

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  • 大小:2.06 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:薄膜   流量   微观   磁控溅射   结构
资源简介
  • 氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,流量,微观,磁控溅射,结构