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沉积功率和退火工艺对PE-ALD氧化铝薄膜的影响

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:薄膜   沉积   功率   工艺   退火
资源简介
  • 沉积功率和退火工艺对PE-ALD氧化铝薄膜的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,沉积,功率,工艺,退火