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2keV镓离子轰击单晶硅基底碰撞过程的分子动力学模拟研究

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  • 大小:1.88 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:基底   轰击   分子   碰撞   离子
资源简介
  • 2keV镓离子轰击单晶硅基底碰撞过程的分子动力学模拟研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:基底,轰击,分子,碰撞,离子