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用于硅基氮化镓可调微镜的静电梳齿型微驱动器设计

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  • 大小：1.55 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：仪器仪表
关键词：驱动器   静电   用于   可调   梳齿
资源简介
  • 用于硅基氮化镓可调微镜的静电梳齿型微驱动器设计,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:驱动器,静电,用于,可调,梳齿
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