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磁控溅射法在玻璃基片制备VO_2薄膜的结构与性能

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  • 语言：中文版
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  • 类别：材料论文
关键词：
资源简介
  • 磁控溅射法在玻璃基片制备VO_2薄膜的结构与性能,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:制备,薄膜,性能,玻璃,磁控溅射
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