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功率器件中影响Trench﹢MOS栅氧生长的因素以及工艺选用对栅氧击穿电压的影响

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  • 大小:9.79 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
关键词:击穿   器件   功率   电压   选用
资源简介
  • 功率器件中影响Trench﹢MOS栅氧生长的因素以及工艺选用对栅氧击穿电压的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:击穿,器件,功率,电压,选用