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陶瓷微板热隔离半导体气体传感器阵列设计与实现

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  • 大小：4.56 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：仪器仪表
关键词：传感器   半导体   陶瓷   气体   隔离
资源简介
  • 陶瓷微板热隔离半导体气体传感器阵列设计与实现,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:传感器,半导体,陶瓷,气体,隔离
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