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AlN／蓝宝石模板上生长的 Al 0．6Ga0．4N薄膜结构与光学性能研究

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  • 大小：2.3 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：材料论文
关键词：蓝宝石   模板   薄膜   性能   生长
资源简介
  • AlN／蓝宝石模板上生长的 Al 0．6Ga0．4N薄膜结构与光学性能研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:蓝宝石,模板,薄膜,性能,生长
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