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气压对 PLD 法在AlN∕Si 上外延生长的GaN性能的影响

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  • 大小：2.04 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：材料论文
关键词：气压   性能   生长   外延   影响
资源简介
  • 气压对 PLD 法在AlN∕Si 上外延生长的GaN性能的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:气压,性能,生长,外延,影响
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