超短脉冲激光微细加工技术
作者：齐立涛 著
出版时间：2012年
内容简介
《超短脉冲激光微细加工技术》共分7章，主要对近些年来发展迅速的超短脉冲激光微细加工技术进行了系统介绍，重点介绍了超短脉冲激光微细加工技术的特点，超短脉冲激光微细加工系统的组成及工艺实验方法，超短脉冲激光和材料的作用机理，超短脉冲激光直写加工微细结构及超短脉冲激光在固体材料表面诱导周期微纳米结构，还介绍了超短脉冲激光微细加工技术的主要应用和未来发展趋势，最后介绍了超短脉冲激光的安全防护知识。
《超短脉冲激光微细加工技术》可供机械制造、材料加工、机电一体化等专业的科研与技术人员参考，也可作为高等院校从事相关专业的研究生的教学参考书。
目录
第1章 绪论
1.1 超短脉冲激光微细加工概述
1.2 超短脉冲激光微细加工特点
1.3 超短脉冲激光微细加工的研究现状
1.4 超短脉冲激光微细加工的未来发展趋势
第2章 飞秒激光微细加工系统组成及检测设备
2.1 飞秒激光微细加工系统
2.2 飞秒激光微细加工区域的主要检测方法和设备
第3章 超短脉冲激光和固体材料的作用机理
3.1 超短脉冲激光和固体材料相互作用的物理过程
3.2 超短脉冲激光和材料作用中的能量传递和热传导
3.3 飞秒激光烧蚀材料机理
3.4 材料的激光损伤机理
第4章 飞秒激光加工蓝宝石
4.1 飞秒激光加工蓝宝石概述
4.2 飞秒激光加工蓝宝石实验方法与设备
4.3 飞秒激光静态照射蓝宝石
4.4 飞秒激光加工蓝宝石的不同晶面
4.5 飞秒激光加工蓝宝石的机理
4.6 飞秒激光在蓝宝石表面加工微槽
第5章 飞秒激光直写加工微细结构
5.1 飞秒激光直写加工概述
5.2 微细结构的常用加工方法
5.3 飞秒激光微细加工的精度
5.4 飞秒激光加工固体材料的加工阈值
5.5 激光脉冲能量和脉冲数量对加工尺寸的影响
5.6 飞秒激光直写加工微细结构
5.7 飞秒激光微细加工的应用
第6章 飞秒激光在固体材料表面诱导周期性微纳米结构
6.1 激光诱导周期性微纳米结构概述
6.2 激光诱导周期性微纳米结构的现状
6.3 激光诱导周期性微纳米结构的原理
6.4 激光诱导周期性微纳米结构实验方法及设备
6.5 飞秒激光在固体材料表面诱导长周期微纳米结构
6.6 飞秒激光在固体材料表面诱导短周期微纳米结构
6.7 激光诱导周期性微纳米结构的应用
第7章 激光加工安全防护及标准
7.1 激光的危险性
