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微机械与微细加工技术

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  • 大小:4454 KB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF版
  • 类别:机械书籍
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关键词:技术   机械   微细   加工
资源简介
《微机械与微细加工技术》内容简介:微机械被誉为21世纪最具代表性的技术之一。《微机械与微细加工技术》共分8章,结合作者近年来的研究工作,系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果,内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、微传感器、微致动器及其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器人等等。《微机械与微细加工技术》可供从事微机械研究的科技人员使用,也可供相关学科的师生参考。
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