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GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

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语言：中文版
格式： PDF文档
类别：仪器仪表
更新日期：2018-03-27

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关键词：微机长度基于干涉微结构

资源简介

GB∕T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

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