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GB/T 34900-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:仪器仪表
  • 更新日期:2018-03-27
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关键词:残余   应变   微机   基于   干涉
资源简介
GB∕T 34900-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
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