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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：检验检测
  • 更新日期：2017-12-07
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关键词：薄膜   显微镜   粗糙   原子   测量
资源简介
GB∕T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
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