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JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范 高清晰版

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  • 大小：1.27 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：计量标准
  • 更新日期：2023-05-05
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关键词：校准   探针   显微镜   扫描   清晰
资源简介
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。
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