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DB13/T 5874-2023 电子工业用氟化氢中杂质的测定色谱法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合地方标准
  • 更新日期：2023-12-16
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关键词：杂质   氟化氢   电子工业   DB13
资源简介
本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定。氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。
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