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GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF版
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2011-08-15
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关键词：电阻   测定   探针   扩散
资源简介
GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
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