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GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF版
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2012-07-31
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关键词：掺杂   衬底   反射   厚度   测量方法
资源简介
GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
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