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SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

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  • 大小：4.03 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2021-04-12
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关键词：间隙   测量   辐射   含量   吸收光谱
资源简介
SJ∕T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
标准简介
本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
发布日期： 2015-10-10
实施日期： 2016-04-01
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