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> GB/T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级(含ISO 14644-8-2013)
GB/T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级(含ISO 14644-8-2013)
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大小:
28.02 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2022-05-19
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关键词:
洁净
浓度
等级
划分
化学
资源简介
本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组或类)的浓度,对空气化学污染进行分级。同时,本文件分级技术要求,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。
本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中100g/m3~10-12g/m3的化学污染物浓度。
本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。
本文件无意探讨空气化学污染物的特性。
本文件不包含对表面化学污染的分级。
替代GB/T 25915.8-2010
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