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SJ 21441-2018 SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范

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  • 大小:9.67 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
  • 更新日期:2022-09-15
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关键词:高纯   晶片   绝缘   碳化硅   SJ
资源简介
SJ 21441-2018 SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范
本规范规定了SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片的技术要求、质量保证规定、交货准备等。本规范适用于SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片(以下简称碳化硅单晶片)
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