GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

大小：2.69 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：电子信息
更新日期：2023-09-07

本站推荐：升级会员无限下载,节约时间成本！

资源简介

本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。
替代GB/T 35306-2017

下载地址

点击进入下载地址列表

GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法资源截图

上一篇: GB/T 35274-2023 信息安全技术大数据服务安全能力要求

下一篇: GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

首页

国家标准

行业标准

地方标准

团体标准

其他标准

资讯

标准公告

更多...

GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

推荐信息

GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

推荐信息

GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法