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GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

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大小：6.79 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：电子信息
更新日期：2023-09-16

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关键词：多晶光谱分析 GB 29057 2023

资源简介

本文件规定了多晶硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过低温红外光谱法或光致发光光谱法对拉制好的单晶硅棒进行分析以确定多晶硅中施主、受主、代位碳和间隙氧杂质含量等的规程。
本文件适用于评价硅芯上沉积生长的棒状多晶硅。
替代GB/T 29057-2012

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