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> SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第2部分:板式 PECVD 设备
SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第2部分:板式 PECVD 设备
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大小:
2.3 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2023-10-20
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关键词:
板式
晶体
电池
化学
增强
资源简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备(以下简称“板式PECVD设备”)的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光状电池用板武PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料,例如,非晶硅(a-Si:H)、微晶硅(uc-Si:H)、二氧化硅(SiO2)、氧化铝(Al2o3)、氮化硅(SiNx)薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材科等,薄膜光伏电池、柔性光伏电池用PECVD设备也可参照使用。
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