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GB/T 42897-2023 正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2023-11-01
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关键词：验方   厚度   微机   纳米   抗拉强度
资源简介
GB∕T 42897-2023 正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
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