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T/IAWBS 014-2021 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-17
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资源简介
本文件规定了碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法。
本文件适用于晶面偏离{0001}面角度为0°～8°的碳化硅单晶抛光片的位错密度的测试。
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