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T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法

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  • 大小：1.23 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：综合团体标准
  • 更新日期：2023-02-18
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关键词：阻抗   射频   电源   GVS   广东省真空学会
资源简介
本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。
本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。
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