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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

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语言：中文版
格式：PDF文档
类别：金属冶金
更新日期：2022-03-21

关键词：硅片轮廓边缘检验方法

资源简介

本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口)的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口)，砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法标准封面

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