中华人民共和国出入境检验检疫行业标准
SN/T 5822—2025
可循环利用的溅射后靶材检验
高纯金属靶材
Inspection of recyclable sputtered targets—High purity metallic targets
2025‑07‑25 发布 2026‑02‑01 实施
中华人民共和国海关总署 发 布
前 言
本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第 1 部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中华人民共和国海关总署提出并归口。
本文件起草单位：广州海关技术中心、宁波海关、中国有色金属工业协会再生金属分会、中国环境科学研究院、中国海关科学技术研究中心、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司。
本文件主要起草人：肖前、周君龙、唐志锟、钟步江、萧达辉、任飞、郑建国、张震坤、刘巍、张华、赵彤、陈立国、杨飞、朱晓东、王学泽、何金江、张科、朱赞芳、钟伟华。
可循环利用的溅射后靶材检验
高纯金属靶材
1 范围
本文件规定了可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验流程、检验内容和结果判别。
本文件适用于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 34330 固体废物鉴别标准 通则
SN/T 0570 进口再生原料放射性污染检验规程
关于发布进口货物的固体废物属性鉴别程序的公告(生态环境部、海关总署 2023 年第 2 号)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
高纯金属靶材 high purity metallic target
在物理气相沉积(PVD)过程中，作为溅射法沉积薄膜工艺的阴极部分接受高速离子束流的轰击，具有很高纯度的固体金属材料块。
注：高纯金属靶材的类别和主要品种见附录 A。
3.2
可循环利用的溅射后高纯金属靶材 recyclable sputtered high purity metallic target
在溅射后，在化学特性、物理特性等方面与原靶材相比基本未发生改变且符合本文件要求的高纯金属靶材剩余部分，经回收后能作为制备高纯金属靶材或其他高纯金属材料的原料。
3.3
夹杂物 foreign substance
在生产、收集、包装和运输过程中混入溅射后高纯金属靶材原料中的其他物质，但不包括靶材自身的固定架等必要配件、靶材粘结材料、配套填充物[如乙烯- 醋酸乙烯共聚物(EVA)泡沫棉]、安装制具以及在运输过程中使用的包装材料。
注 1：常见夹杂物包括木材、纺织物、塑料、玻璃、石材、纸、沙、污泥、粉状物(粉末、结晶盐、纤维末等)等非金属物质。注 2：靶材粘结材料用于靶胚和背板的绑定工艺，常见有金属铟、锌锡合金等，存在于靶胚和背板的粘结面。
3.4
危险物质 hazardous substance
爆炸品、高压容器、密闭容器及危险废物。
注：危险废物是指列入《国家危险废物名录》或者根据国家规定的危险废物鉴别标准和鉴别方法认定的具有危险特性
的固体废物。
4 检验流程
通过对货物的放射性、外观、夹杂物、危险物质、成分等进行检验和疑似固体废物排查，结合货物来源，判断货物是否符合可循环利用的溅射后高纯金属靶材要求。可循环利用的溅射后高纯金属靶材检验流程见图 1。
图 1 可循环利用的溅射后高纯金属靶材检验流程图
5 检验内容
5.1 放射性检验
5.1.1 按照 SN/T 0570 的规定，检测货物的放射性污染水平。
5.1.2 货物的放射性污染水平应符合以下要求：
a) 货物中不混有放射性物质;
b) 货物(含包装物)的 X 和 γ 辐射周围剂量当量率不超过所在地天然辐射本底值+0.25 μSv/h;
c ) 货物表面的 α、β 表面污染水平：测量面积大于 300 cm2，α 不超过 0.04 Bq/cm2，β 不超过 0.4 Bq/cm2。
5.1.3 如果货物的放射性污染水平不符合 5.1.2 的要求，应终止检验，按相关规定处置。
5.2 外观检验
5.2.1 目视检查货物外观，包括形状、状态、颜色、标识等，结合申报文件，判断货物是否来源于经回收的溅射后高纯金属靶材。
5.2.2 溅射后高纯金属靶材应按品种(见附录 A)分类包装、归类放置、明显标识。
5.2.3 可循环利用的溅射后高纯金属靶材的外观符合以下要求。
a ) 靶材的外观形状包括圆形、条形、方形、三角形、球形、管形等。
注：金属靶环为圆环形，四周有安装孔，是高纯金属靶材的一种特殊形式。
b) 靶材外形应完整，没有破碎、破裂、残缺、扭曲、严重变形的情况。
c ) 靶材外观应干净，没有明显的油污等沾污情形。
d) 靶材表面或两端有典型溅射刻蚀沟槽等特征，表面允许有少量镀层、涂层、裂纹。
e ) 靶材可带有金属或合金背板，边缘可有安装孔和密封槽。
注：如将靶胚和背板解绑，部分靶材的靶胚和背板的粘结面可见粘结材料。
f) 靶材(或其配套背板)上应有唯一的、可识别的产品标识。
5.2.4 当货物的外观形状与 5.2.3a)不相符时，货主或进口方需进一步提供证明材料，以便检验人员核查货物是否为溅射后高纯金属靶材。可循环利用的溅射后高纯金属靶材典型示例及照片见附录 B 。
5.3 夹杂物检验
5.3.1 目视检查货物中是否含有夹杂物。
5.3.2 如含有夹杂物，应将夹杂物从货物中挑出并称重，计算夹杂物的质量占比。
5.3.3 夹杂物的质量占比应不大于 0.1% 。
5.4 危险物质检验
5.4.1 目视检查货物中是否含有危险物质。
5.4.2 货物中不应含有危险物质。
5.5 成分检测
5.5.1 取样
5.5.1.1 对于不同品种的货物应分别取样，分别检测。取样人员在现场做好取样记录和拍照。
5.5.1.2 从每个品种货物中随机抽取不少于 2 件靶材样品，对每件样品施加唯一性标识后，按照 5.5.2 对样品进行成分检测。
5.5.1.3 如需取样送实验室检测，宜将按照 5.5.1.2 抽取的靶材样品完整送检。如样品尺寸过大不适合送检，可从每个靶材样品切取不少于 500 g 的块状代表性试样，装入洁净样品袋并施加唯一性标识后送检。送检时，应随附反映靶材样品初始形态和现场取样情况的照片。
5.5.2 样品测试
5.5.2.1 具备现场检测条件的，可使用便携式光谱仪对靶材样品成分进行现场检测。
5.5.2.2 不具备现场检测条件的，或经现场使用便携式光谱仪检测无法确定是否符合 5.5.2.3 的要求，可按照 5.5.1 取样送实验室，采用适当的分析方法对试样进行成分检测。
注：高纯金属靶材成分分析的常用方法标准见附录 C，也能选择其他适用于高纯金属靶材的分析方法标准。
5.5.2.3 可循环利用的溅射后高纯金属靶材的成分应符合以下要求。
a ) 靶材主金属(包括合金金属)的纯度不小于 99% 。
b) 背板主金属(包括合金金属)的纯度不小于 95% 。
5.6 疑似固体废物现场排查
采用感官检验方式对货物进行疑似固体废物现场排查。现场排查发现有疑似固体废物的，应按照《进口货物的固体废物属性鉴别程序》的要求，委托专业机构依据 GB 34330 等标准开展固体废物属性鉴别。
6 结果判别
6.1 根据货物的放射性、外观、夹杂物、危险物质、成分检验结果以及疑似固体废物排查结果，结合对货物来源和用途的分析，对货物进行综合研判。
注：可循环利用的溅射后高纯金属靶材的典型鉴别案例见附录 D。
6.2 满足下列各项要求的，判定为符合可循环利用的溅射后高纯金属靶材要求。
a ) 放射性检验结果符合 5.1.2 的各项要求。
b) 外观检验结果符合 5.2.2 和 5.2.3 的要求。
c ) 夹杂物检验结果符合 5.3.3 的要求。
d) 危险物质检验结果符合 5.4.2 的要求。
e ) 靶材成分检验结果符合 5.5.2.3 的要求。
f) 经固体废物现场排查未发现固体废物风险，或经固体废物属性鉴别不属于固体废物。
6.3 不符合 6.2 的 a)~f)的一项或多项要求的，判定为不符合可循环利用的溅射后高纯金属靶材要求。
附 录 A
(资料性)
高纯金属靶材的类别和主要品种
高纯金属靶材的类别和主要品种(按金属成分)见表 A .1。
表 A.1 高纯金属靶材的类别和主要品种
附 录 B
(资料性)
可循环利用的溅射后高纯金属靶材典型示例及照片
可循环利用的溅射后高纯金属靶材典型示例及照片见表 B .1。
表 B.1 可循环利用的溅射后高纯金属靶材典型示例及照片
表 B.1 可循环利用的溅射后高纯金属靶材典型示例及照片(续)
附 录 C
(资料性)
可循环利用的溅射后高纯金属靶材成分常用方法标准
可循环利用的溅射后高纯金属靶材成分分析常用方法标准见表 C.1。
表 C.1 可循环利用的溅射后高纯金属靶材成分分析常用方法标准
附 录 D
(资料性)
可循环利用的溅射后高纯金属靶材鉴别案例
D.1 某进口货物情况
某进口货物申报品名为“钽靶(带背板)”,申报来源为经回收的金属靶材。货物照片见图 D .1。
图 D.1 货物照片
D.2 检验情况
D.2.1 放射性检验
按照 SN/T 0570—2013 检测货物的放射性污染水平，检验结果符合 5.1.2 的要求，未见异常。
D.2.2 外观检验
经目视检验，货物均为圆盘状金属靶材，形状、颜色、大小基本一致，表面洁净，放置于集装箱内。靶材上部靶胚材料颜色为银灰色，有圆环形沟槽;下部背板材料颜色为黄铜色，有安装孔和密封槽。靶材上有可识别的生产方产品标识。货物外观符合 5.2.2 和 5.2.3 关于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的外观要求。
D.2.3 夹杂物检验
经目视检验，货物中未检出夹杂物，符合 5.3.3 的要求。
D.2.4 危险物质检验
经目视检验，货物中未检出爆炸品、高压容器、密闭容器、危险废物等危险物质，符合 5.4.2 的要求。
D.2.5 成分检测
D.2.5.1 靶材成分
按 GB/T 16597—2019 采用 X 射线荧光光谱法对样品靶材成分进行分析。经检验，样品靶材主成分为金属钽，纯度>99% 。
D.2.5.2 背板成分
按 GB/T 16597—2019 采用 X 射线荧光光谱法对样品背板材料成分进行分析。经检验，样品背板材料为 Cu/Zn 合金，合金纯度>99%。详细结果见表 D .1。
表 D.1 背板成分分析结果
上述成分检验结果符合 5.5.2.3 关于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的成分要求。 D.2.6 固体废物现场排查
经现场排查，货物中未见疑似固体废物的物料，未发现固体废物风险。
D.3 来源和用途分析
货物申报品名为“钽靶(带背板)”。经检验，货物为圆盘状靶材，靶材上有可识别的生产方产品标识，靶材主金属成分为金属钽，纯度>99%，背板成分为 Cu/Zn 合金，纯度>99%。综合货物的放射性、外观、夹杂物、危险物质、成分检验结果，推断货物来源于经回收的溅射后高纯金属钽靶(带背板)，可作为高纯金属材料用于钽靶的制备或其他高附加值应用，具有较高的循环利用价值。
D.4 结果判别
货物来源于经回收的溅射后高纯金属钽靶(带背板)。经检验，货物放射性污染水平检验结果未见异常，外观符合可循环利用的溅射后高纯金属靶材的外观要求，未检出夹杂物和危险物质，未发现固体废物风险，靶材成分符合可循环利用的溅射后高纯金属靶材的成分要求。货物符合本文件关于可循环利用的高纯金属溅射靶材的各项要求，可作为高纯金属材料用于后续循环利用。
综合以上检验结果，判定货物属于符合可循环利用要求的溅射后高纯金属靶材。
参 考 文 献
[ 1 ] GB/T 16597—2019 冶金产品分析方法 X 射线荧光光谱法通则
