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薄膜材料与薄膜技术

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF版
  • 类别：材料书籍
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关键词：技术   薄膜
资源简介
薄膜材料与薄膜技术
作者： 郑伟涛 
   
出版日期：2003

本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识，重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征、对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。


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