AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究
作者： 刘艳明 著
出版时间：2018年版
内容简介
《AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究》介绍了超硬自润滑硼化物薄膜——AlB2-type WB2基超硬薄膜的制备及改性。系统地描述了工艺参数（基体偏压、沉积温度、工作压强、靶功率）及N、C掺杂对AlB2-type WB2基硬质薄膜结构和性能（力学、摩擦热稳定性等）的影响规律及作用机制，建立了工艺参数、薄膜结构演变与性能之间的关系，揭示三种薄膜的强化机理及退化机制，阐述了AlB2-type WB2基硬质薄膜的潜在应用价值，为其他过渡族金属硼化物涂层的制备及改性提供了理论基础。
目录
第1章 绪论
1.1 硬质薄膜及其发展历程
1.1.1 普通硬质薄膜
1.1.2 内禀性超硬薄膜
1.1.3 外禀性硬质薄膜
1.2 硬质薄膜的研究热点及问题
1.2.1 硬质薄膜制备
1.2.2 硬质薄膜组元微结构设计与其强化机制
1.2.3 高性能硬质薄膜
1.2.4 高性能靶材
1.3 硬质薄膜的制备技术
1.3.1 化学气相沉积
1.3.2 物理气相沉积
1.4 硬质薄膜的表征方法
1.4.1 薄膜的显微结构
1.4.2 薄膜的硬度
1.4.3 薄膜的摩擦磨损性能
1.4.4 薄膜的结合强度
1.4.5 薄膜的残余应力
1.5 WB2、W-B-N(C)硬质薄膜
1.5.1 WB2相的研究现状
1.5.2 W-B-N(C)硬质薄膜的研究现状
1.5.3 AlB2-type WB2、W-B-N(C)硬质薄膜的研究内容
第2章 AlB2-type WB2超硬薄膜的制备及表征
2.1 实验材料与方法
2.1.1 靶材与基体
2.1.2 磁控溅射设备
2.1.3 薄膜制备
2.1.4 薄膜的表征方法
2.2 实验结果与讨论
2.2.1 薄膜形貌
2.2.2 薄膜成分及化学键状态
2.2.3 薄膜相结构
2.2.4 薄膜显微结构
2.2.5 薄膜硬度和弹性模量
2.2.6 薄膜结合强度
2.2.7 薄膜摩擦磨损性能
2.3 小结
第3章 AlB2-type WB2薄膜的工艺参数优化
3.1 实验材料与方法
3.1.1 靶材与基体
3.1.2 AlB2-type WB2薄膜的制备
3.1.3 AlB2-type WB2薄膜的表征方法
3.2 实验结果与讨论
3.2.1 基片偏压对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响
3.2.2 基片温度对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响
3.2.3 工作压强对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响
3.2.4 靶功率对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响
3.3 小结
第4章 W-B-N复合薄膜的制备及表征
4.1 实验材料与方法
4.1.1 W-B-N薄膜的制备
4.1.2 W-B-N薄膜的表征方法
4.2 实验结果与讨论
4.2.1 W-B-N薄膜成分及结构
4.2.2 W-B-N薄膜残余应力
4.2.3 W-B-N薄膜力学及摩擦磨损性能
4.2.4 W-B-N薄膜抗腐蚀性能
4.2.5 W-B-N薄膜热稳定性
4.3 小结
第5章 W-B-C复合薄膜的制备及表征
5.1 实验材料与方法
5.1.1 W-B-C薄膜的制备
5.1.2 W-B-C薄膜的表征方法
5.2 实验结果与讨论
5.2.1 W-B-C薄膜成分及结构
5.2.2 W-B-C薄膜残余应力
5.2.3 W-B-C薄膜力学及摩擦磨损性能
5.2.4 W-B-C薄膜热稳定性
5.3 小结
参考文献
