微机电系统和微结构及其在航天中的应用

微机电系统和微结构及其在航天中的应用
出版时间：2013年版
内容简介
　　《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。《微机电系统和微结构及其在航天中的应用》适合航天、航空和MEMS技术领域的设计师、工程师、管理者和高校院所的相关学科的科研人员、高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。
目录
第1章 概论
1.1 概述
1.2 背景和意义
1.3 航天用的MEMS器件
1.3.1 数字微型推进项目STS-93
1.3.2 皮卫星任务
1.3.3 天蝎座亚轨道示范
1.3.4 基于MEMS的微型卫星侦察器系列
1.3.5 导弹和军火-惯性测量单元
1.3.6 蛋白石、蓝宝石和绿宝石
1.3.7 国际案例
1.4 微机电系统和微结构在航天中的应用
1.4.1 对MEMS的理解和MEMS的展望
1.4.2 航天系统和仪器中的MEMS
1.4.3 卫星分系统中MEMS
1.4.4 MEMS技术航天领域应用的插入点
1.5 小结
参考文献
第2章 MEMS技术在航天任务中的应用前景
2.1 引言
2.2 适用于航天任务的MEMS技术的近期研制状况
2.2.1 NMPST5热控百叶窗
2.2.2 JWST微型快门阵列
2.2.3 尺蠖微型制动器
2.2.4 NMPST6惯性恒星相机
2.2.5 微型推进器
2.2.6 航天MEMS器件研制的其他实例
2.3 MEMS技术在航天中的潜在应用
2.3.1 基于MEMS技术的飞行器元器件清单
2.3.2 低成本微型卫星
2.3.3 科学仪器和传感器
2.3.4 探索应用
2.3.5 太空粒子和变异体
2.4 挑战和未来的需求
2.4.1 挑战
2.4.2 未来的需求
2.5 小结
参考文献
第3章 MEMS加工
3.1 引言
3.2 MEMS加工技术
3.3 LIGA
3.4 体硅微加工工艺
3.4.1 湿法刻蚀
3.4.2 等离子刻蚀
3.5 牺牲层表面微加工工艺
3.5.1 圣地亚超平多层MEMS技术
3.6 集成电路和MEMS技术集成
3.7 其他MEMS材料
3.7.1 碳化硅
3.7.2 硅-锗合金
3.7.3 金刚石
3.7.4 SU-8
3.8 小结
参考文献
第4章 空间环境因素对微纳米技术的影响
4.1 引言
4.2 机械、化学和电效应
4.2.1 热机械效应
4.2.2 冲击、加速度以及振动的机械效应
4.2.3 化学效应
4.2.4 电效应
4.3 针对任务运行环境进行设计
4.4 空间特殊任务的环境影响
4.5 小结
4.6 所参考的军用规范和标准
参考文献
第5章 空间辐射影响和微机电系统
第6章 微纳米技术在空间系统的应用
第7章 微加工技术在科学仪器方面的应用
第8章 微机电系统在航天器通信中的应用
第9章 航天器热控制中的微系统
第10章 航天器制导、导航和控制中的微系统
第11章 微推进技术
第12章 空间应用的MEMS封装技术
第13章 关键性空间应用的处理与污染控制的考虑
第14章 MEMS应用的材料选择
第15章 基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试
第16章 航天微机电系统与微结构的保障方法