真空镀膜技术与设备设计安装及操作维护实用手册
第一篇真空镀膜技术概论
第一章真空镀膜技术及其应用
第二章真空镀膜基础知识
第三章真空镀膜常用塑料
第四章真空镀膜常用涂料
第二篇真空技术
第一章真空基本知识
第二章真空泵
第三章真空系统
第四章真空测量
第五章真空检漏
第三篇真空镀膜材料
第一章薄膜材料的基本理论和特性
第二章金属薄膜材料
第三章介质和半导体薄膜材料
第四章光学性能可变换的薄膜材料
第四篇真空蒸发镀膜技术
第一章真空蒸发镀膜原理
第二章蒸发源
第三章蒸发源的蒸发特性及其膜厚分布
第四章某些特定材料的蒸发技术
第五章间歇式真空蒸发镀膜机
第六章半连续式真空蒸发镀膜机
第五篇真空溅射镀膜技术
第一章溅射技术
第二章直流溅射镀膜
第三章磁控溅射镀膜
第四章射频溅射镀膜
第五章反应溅射镀膜
第六章磁场计算
第七章水冷系统的设计与计算
第八章膜厚均匀度
第六篇真空离子镀膜和束流沉积技术
第一章真空离子镀膜
第二章离子束沉积技术
第三章分子束外延技术
第七篇化学气相沉积技术
第一章化学气相沉积技术概论
第二章化学气相沉积方法
第三章低压化学气相沉积技术
第四章等离子增强化学气相沉积技术
第五章其它化学气相沉积法
第八篇真空离子注入技术
第一章真空离子注入技术概论
第二章几种离子注入的新方法
第三章离子注入装置
第四章离子注入及离子束混合的应用
第九篇薄膜微细加工技术
第一章薄膜微细加工技术概论
第二章离子束刻蚀
第三章t糠酸溅射刻蚀
第四章等离子体反应刻蚀
第五章反应离子刻蚀
第十篇薄膜厚度的测量与监控
第一章电学测量法
第二章光学测量法
第三章机械测量法
第十一篇真空镀膜设备设计安装与操作维护
第一章真空镀膜设备构件设计
第二章卷绕式真空镀膜机
第三章间歇式真空镀膜机
第四章真空镀膜设备安装调试与操作维修
第十二篇真空镀膜技术在塑料薄膜和制成品上的应用
第一章真空镀膜技术在塑料薄膜上的应用
第二章真空镀膜技术在塑料成型品上应用
