无驱动结构微机械陀螺及其应用
作者：张福学，张伟 著
出版时间： 2013年版
内容简介
《无驱动结构微机械陀螺及其应用》全面系统地介绍了无驱动结构机械陀螺和无驱动结构微机械陀螺的原理、结构、性能及其应用。《无驱动结构微机械陀螺及其应用》共分四篇，第1篇共5章，主要介绍无驱动结构机械陀螺的数学模型、精度、性能、运行误差和实验研究。第2篇共5章，主要介绍旋转飞行载体用无驱动结构微机械陀螺的工作原理、误差、相移和性能实验。第3篇共6章，主要介绍微电子机械系统的电子材料及其加工处理、MEMS用材料及其制备、标准微电子工艺、硅体的微机械加工、硅的表面微机械加工和MEMS的微立体平版光刻技术。第4篇共2章，主要介绍无驱动结构微机械陀螺在旋转飞行栽体姿态控制系统中的应用。《无驱动结构微机械陀螺及其应用》可供旋转飞行栽体用惯性器件和自动控制系统研制、使用单位的有关科技人员阅读，也可作为高等院校有关专业的本科生、研究生和教师的教学参考书。
目录
第一篇 无驱动结构机械陀螺
第1章 无驱动结构机械陀螺的数学模型
1.1 飞行中飞行器的特征
1.2 无驱动结构机械陀螺敏感元件的运动方程式
1.3 飞行器以常值角速度旋转时陀螺的性能
1.4 无驱动结构机械陀螺系统方案的选择
1.5 已知等级仪器的调节质量
1.6 带有速度负反馈的无驱动结构机械陀螺的稳定性
1.7 无驱动结构机械陀螺的技术性能
第2章 带速度负反馈的无驱动结构机械陀螺的精度
2.1 绕横轴转动的常值角速度测量精度
2.2 无驱动结构机械陀螺的调节质量
第3章 在交变角速度条件下无驱动结构机械陀螺的性能
3.1 在角振动条件下无驱动结构机械陀螺的性能
3.2 在角振动条件下无驱动结构机械陀螺的输出信号
3.3 飞行器的谐波角速度测量精度
3.4 在圆周振动时无驱动结构机械陀螺的性能
第4章 无驱动结构机械陀螺的工具性和运行性误差
4.1 框架静不平衡引起的误差
4.2 角振动和圆周振动引起的误差
4.3 安装不精确产生的误差
4.4 环境温度变化产生的误差
第5章 无驱动结构机械陀螺实验研究
5.1 带速度负反馈的无驱动结构机械陀螺技术说明
5.2 无驱动结构机械陀螺的参数和反馈参数计算
5.3 高精度三轴转台
5.4 带温箱的双轴转台
5.5 频率特性拾取的特殊性
5.6 实验结果
5.6.1 工作能力的测量法和测量结果
5.6.2 零偏信号的测量方法和结果
5.6.3 阈值的测量方法和结果
5.6.4 输出特性的测量方法和结果
5.6.5 输出信号稳定性的测量方法和结果
5.6.6 频率特性采集的方法和结果
5.6.7 安装不精确影响测量方法和结果
5.6.8 带自身旋转倍频的角振动输出信号影响的测量方法和结果
第二篇 无驱动结构微机械陀螺
第6章 微机械加速度计和微机械陀螺
6.1 微机械加速度计
6.1.1 微机械加速度计的基本原理、工艺类型和应用
6.1.2 微机械加速度计的工作原理
6.1.3 用体微细加工工艺制造的微机械加速度计
6.1.4 用表面微细加工工艺制造的微机械加速度计
6.1.5 力反馈
……
第7章 无驱动结构微机械陀螺的工作原理
第8章 无驱动结构微机械陀螺的误差
第9章 无驱动结构微机械陀螺相移
第10章 无驱动结构微机械陀螺的静态性能实验
第三篇 无驱动结构微机械陀螺的微机械加工技术
第11章 电子材料及其加工处理
第12章 MEMs用材料及其制备
第13章 标准微电
第14章 体微机械加工
第15章 表面微机械加工
第16章 MEMS的微立体平版光刻技术
第四篇 无驱动结构微机械陀螺的应用
第17章 信号处理
第18章 飞行姿态控制系
参考文献
