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GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

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  • 大小：2.75 MB
  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：电子信息
  • 更新日期：2023-09-15
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关键词：外延   GB   30652   2023   用三氯氢硅
资源简介
本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCl 3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅。
替代GB/T 30652-2014
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